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高真空磁控溅射设备,量测设备,涂胶显影设备,PECVD设备,RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备,电子扫描显微镜,快速退火,等离子去胶,等离子刻蚀,电子束蒸发,湿法工艺设备
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