广州谭美电子科技有限公司

603-III 高真空磁控溅射设备

型号：603-III
地点：美国
状态：AS IS，WHERE IS （我们提供翻新、安装、保修服务，额外收取合理费用
包装：卖方负责（如果需要）
保修/退款：无 说明：Inline Sputtering System
真空系统：Cryo Pumped ，Vacuum System CTI CryoTorr 8 with CTI 8500 Series Compressor， Leybold D60A Roughing Pump
Target尺寸：4 3/4" x 14 7/8"
DC阴极数量：3
RF阴极数量：0
RF刻蚀阴极数量：1
工艺气体数量：1
残余气体分析仪：0
DC Power：10.00 kW DC （MRC制造）
RF Generator：1500 Watts（MRC制造）
RF Matching Network：包括
其他信息：Controller:
• Analog closed-loop control and monitored by microcomputer
• Process is fully automatic
• Process parameters are accomplished via keyboard entry and displayed on CRT
Substrate pallet size: 13" x 13"
Pallet carrier: Chain drive. Speed adjustable from 39.3"/min to 120"/min
Quartz substrate heater adjustable to 600 C.
INSET DC cathodes
Facilitiy Requirements
• Water: 4.0 gpm， 70 psig， 60 degrees F
• Air: 70-100 psig， filtered， 1 cfm.
• Sputtering gas: 3-5 psig
动力要求： 208 V 60 Hz 3 Phase
尺寸：
Width 78.000 in (198.1 cm)
Depth 56.000 in (142.2 cm)
Height 72.000 in (182.9 cm)
重量： 2，288 lb (1，038 kg)
如果对此设备有兴趣，请邮件联系我们。
 

广州谭美电子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、欧一流的半导体设备公司的产品，公司主要经营高真空磁控溅射设备、量测设备、涂胶显影设备、PECVD设备、RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备、电子扫描显微镜、快速退火、等离子去胶、等离子刻蚀、电子束蒸发、湿法工艺设备。

我们拥有广泛的采购网络、强大的专业设备服务队伍、先进的质量检验检测手段和国际领先的软件开发和升级技术，可为客户提供各类进口半导体设备及备品备件、并提供长期优质的售后服务及技术支持保障。通过技艺精湛的设备生产、翻新，保证我们的设备具有出色的运作表现，能够满足客户的多种需求，降低客户的生产成本。
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经营产品：

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零件销售：

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