广州谭美电子科技有限公司

Heatpulse 4100快速退火炉

原制造商：AG Associates
设备类型：快速退火炉
AG Associates Heatpulse 4100系列快速退火系统具有成本低，适用面广等优点。是专门为半导体器件生产厂家快速退火工艺设计制造的退火系统，被广泛应用验证。该系统采用自动传片系统(Video)，适用于标准硅片、复合半导体材料和其他材料的晶片，晶片尺寸可从3英寸到6英寸。操作简便，自动化程度高，已广泛应用在半导体制造产业。
Heatpulse 4100优越的工艺控制： 单片，闭环温度控制；
快速升温与降温控制；
工艺重复性高；
4组加热灯可分别控制，提高温场均匀性。Heatpulse 4100工艺用途： 离子注入后快速退火；
欧姆接触快速合金；
硅化物合金退火；
氧化物生长；
其它快速热处理工艺。Heatpulse 4100 同管式高温炉的比较： 一般管式高温炉只能设定一个工艺条件，即一个温度；
工艺周期长，使用不太灵活；
须24小时加电恒温，能耗较高；
快速退火炉可以设定多个工艺条件，即多种温度；
快速退火炉工艺时间短，使用非常灵活；
快速退火炉能耗很低；
快速退火炉同一台设备既可用作生产，也可用作科研，且任何科研工艺条件不会对生产工艺造成影响。Heatpulse 4100 同其他同类快速退火炉的比较： 更广泛被行业使用，市场保有量第一
更容易取得备件
成本低
更容易取得服务   

广州谭美电子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、欧一流的半导体设备公司的产品，公司主要经营高真空磁控溅射设备、量测设备、涂胶显影设备、PECVD设备、RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备、电子扫描显微镜、快速退火、等离子去胶、等离子刻蚀、电子束蒸发、湿法工艺设备。

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经营产品：

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零件销售：

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