广州谭美电子科技有限公司

MXP Multiplex ICP HR

制造商： Surface Tech Sys
型号： MXP Multiplex ICP HR
Wafer 尺寸：
Minimum 50 mm
Maximum 200 mm
Set Size 150 mm
工艺： Chlorine Etch
Loadlock ：是
Loadlock Pump ：Edwards E2M40
High Vacuum Pump： Pfeiffer MAG 2000
Roughing Pump ：Edwards IQMB250 & IQDP80
RF Generator ： ENI/ACG-3B and Advanced Energy RFG 3001
Number of Gas Inputs： Five Gas
Process Gases： BCl3， Cl2， O2， Ar， He
Chillers ：Huber/Unistat 140W
附件： ICP V2 - Balun coil
Mechanical Clamp
Helium Backside Cooling
Carousel in MkIV MPX - 2 x 150mm wafers
3KW Source
300/30W platen
Purge gas line
E-Rack Modules: HCL1 +HCU3 +HCU5+VAC3Y +2x AMC1 +HBC2
其他信息： Windows 2000
Current Power Requirements: 400V ， 50Hz， 40 Amp， 3 phase
Unit can be configured for: 208/460， 60 Hz， 3 Phase.
CE Marked YES
制造年份： 2003
 

广州谭美电子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、欧一流的半导体设备公司的产品，公司主要经营高真空磁控溅射设备、量测设备、涂胶显影设备、PECVD设备、RIE/ICP/DRIE深刻蚀设备、电子扫描显微镜、快速退火、等离子去胶、等离子刻蚀、电子束蒸发、湿法工艺设备。

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经营产品：

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零件销售：

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