压电陶瓷平台
SFS-120XY(WA) 中空型XY压电陶瓷平台
产 品 说 明
SFS-120XY(WA) 中空型XY压电陶瓷平台
l它是一种具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平台。
l它采用压电陶瓷作为驱动器,并内置小位移传感器。
l适用控制器为FINE-503。该控制器具有RS232C,GP-IB 和USB 接口。
l可以很容易地通过计算机,利用我们独自开发的应用软件SGEMCS,SGTERMS,SGSFSX 进行控制。
l此平台是显微镜用移动台,精密测量,表面结构分析,半导体测试装置,精密掩模及半导体晶圆的调整;扫描型干涉仪,高分辨率图像处理及生物系统等的理想选择。
l不同类型的显微镜,有时其安装方法也有所不同。
l在您垂询时,请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称,型号以及物镜型号。
l我们可以为您定做其它各种显微镜的连接用适配器。
压电陶瓷平台共有 3 个产品
名称: SFS-120XY(WA) 中空型XY压电陶瓷平台
名称: SFS 西格玛精密(压电陶瓷)平台
名称: SFS-H 西格玛精密(压电陶瓷)平台—高速·高刚性型
压电陶瓷制动器
VSHPSt 150 带内部预应力外壳的低电压致动器(压电陶瓷)
产 品 说 明
带内部预应力外壳的低电压致动器(压电陶瓷)
VSHPSt 150/14-10/… VS22
预应力=最大张力=400N
最大负载力:6000N
最大出力:4500N
在 1 mV噪声的情况下致动器150/14-10/12 VS22的开环灵敏度:约为0.1nm
类型 最大行程 长度 电容 刚性 共鸣频率
μm mm nF N/μm kHz
HPSt 150/14-10/12 VS22 16/12 31 2.6 250 30
HPSt 150/14-10/25 VS22 32/25 44 5.2 120 20
HPSt 150/14-10/40 VS22 50/37 58