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薄膜测量仪器 >> 薄膜在线监测控制仪器 >> 温度与薄膜厚度测量监测器

薄膜测量仪器 >> 薄膜在线监测控制仪器 >> 温度与薄膜厚度测量监测器 产品编号：841482816产品名称：温度与薄膜厚度测量监测器规格：产品备注：产品类别：薄膜测量仪器    产品说明Eon-LT?温度与薄膜厚度测量监测器是一个基于电脑的薄膜厚度监测器，远远优于优于传统的监测器，传统的监测器无法感知晶体的热变化。本监测器是把频率和温度测量相结合，在实时速率和薄膜厚度监测方面可获取从来没有的精度。 为什么要测量温度？因为加热过程导致晶体的频率变化，毫无疑问等于镀膜引起的频率变化，对大多数速率测量，在正常操作会存在10%的误差，最糟糕的情况，会产生100%的误差。如果你的测量总是出错，那就是我们为什么要用Eon-LT?温度测量薄膜厚度监测器来测量。 特点：●附加精密的温度测量●与最新、直观的Eon?软件通信● 与相应的速率和厚度相伴的实时温度和频率的测绘图●支持挡板的接通和断开● 通信：RS-232，USB，和WiFi● 双通道扩展能力●包括所有的连接电缆、软件和操作手册●驱动晶体6MHz，1-200Ω，任何类型（石英、超级石英）●两个K型热电偶输入，精确到+/-0.25°C●两个高分辨传感头，输入精度达到0.001Hz●24V电源●工业标准的RS232通信协议●尺寸：4.5英寸x2.5英寸x1英寸●两个用户可选的传输口●LED状态指示 技术参数：MeasurementFrequencyResolution0.001HZ@6MHz(1SampleperSecond)SampleRate100Hzto10HzDisplayUpdateRate10Hz-1HzSensorCrystalFrequency6MHzElectronicsTemperature2typeKTCSources20-5VDCsourcecontrolsRelays(non-programmable)2SPSTNOforabort&thicknesssetpointRemotePowerFrontpanelFOBconnectorformanualpowercontrolInputsetupInputscantriggereventsdependingonuserselectedconditionsOutputSetupOutputscanbetriggereddependingonuserselectedconditionsLED(s)DualstatusCommunicationProtocolCommunicationstatusPower-upstatusRS-232DACRecorderEitherorbothsourceoutputscanbeusedasrecorderoutputsParametersUserscalable0-5Voutputforrateandthickness Dimensions4.5”x2.5”x1”OrderingInformationEon-LT?PC-interactivethinfilmmonitor 应用：●原子层沉积(ALD)●化学气相沉积(CVD)●分子束外延(MBE)●CIGS(薄膜太阳电池)●OLED●多层光学薄膜沉积