长春海洋光电有限公司

纳米位移平台 >> CUBE3 3轴纳米位移平台

产品编号：1098482816产品名称：CUBE3 3轴纳米位移平台规　　格：产品备注：产品类别：纳米位移平台    产 品 说 明 

 

CUBE3.100

CUBE3.200

运动范围XYZ（μm）

100

200

分辨率XYZ（nm）

0,1

0,2

典型的噪声基准XYZ（nm）

0,01

0,02

全方位的重复性XYZ（nm）

0,2

0,4

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

谐振频率X / Y / Z（赫兹）

200/200/500

200/200/500

刚度 X/Y/Z (N/μm)

0,3/0,3/0,6

0,3/0,3/0,6

最大负载（kg）-水平使用

0,5

0,5

最大负载（kg）-垂直使用

0,1

0,1

传感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

63,5 x 63,5 x 52,45

63,5 x 63,5 x 52,45

材料

Al

Al

电缆长度（m）

2

2

推荐控制器

Standard

Standard

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