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高温淬火制程实验方法-实验型专业显微镜
高温淬火制程对提纯冶金硅的影响
实验方法
矽块粉碎及筛选
强力磁选机磁选
清洗烘乾
热淬处理
超音波震盪
清洗烘乾
ICP-OES
成份分析检测
选用 2202 冶金级矽块，先经粉碎机粉碎后作为此实验之矽粉原料。由于粉碎
矽粒尺寸不均匀及存在钢刀磨耗铁屑残留的情形，故先以筛网分筛出粒径 0.25~0.5 mm
的矽粉，再经由强力磁选机磁选以减低铁之残留量，最后使用无水酒精与超纯水震盪清
洗、烘乾，始成为实验之矽粉原料。


热淬处理制程是将矽粉放入热处理炉升温，当矽粉达到设定温度后迅速取出倒入溶
液中冷却，以www.aosvi.com 达到淬火之目标。以 2M 盐酸溶液分冸进行高温水淬再酸洗、


直接高温淬酸；以及选用 0.5 M 草酸直接进行矽粉的高温热淬，因草酸对晶界的腐蚀性佳。清洗流
程乃将试样放入温度设定为 20 ℃ 之恒温超音波震盪机中震盪，以冺酸液充分释出，


然后再使用超纯水将矽粉彻底洗淨、烘乾，最后以 ICP-OES 进行成份分析