深圳市奥斯微光学仪器有限公司

表面轮廓仪可用来测量固体表面粗糙度
表面轮廓仪
一?测试目的︰
1. 量测固体表面粗糙度。
2. 量测镀膜厚度。


二?样品准备须知及注意事项︰
1. 样品量测前必须事先乾燥。
2. 试片表面须清洁。
3. 更换试片时，探针必须先升起，避免碰触到探针


三?限制︰
1. 仅能使用于片状或块状之试片。
2. 避免在受外力振动的环境下操作。
3. 较软材质不宜量测


当材料受到高能量的EUV 光照射下，物质会产生光游离、光解离反
应，产生小分子、离子或是自由基等碎片，这些碎片脱离材料表面，即
所谓的释气，此为EUV 微影制程中特有的问题。光阻释气的问题一直被
视为可能是EUV 微影中www.aosvi.com 最大的光学元件污染源之一。在过去 DUV 的世
代当中，DUV 光阻的主要光吸收团为光酸产生剂，其主要的光化学反应
途径为产生光酸，故DUV 世代光阻释气并非核心关键的问题。
在EUV 照射后，光阻材料由表面脱附的研究，2007 年Barkusky 的
研究团队以不同能量的EUV 脉冲雷射研究PMMA 光阻，发现PMMA 光
阻经高能照射后会有剥蚀现象，其剥蚀速率为0.008 nm cm
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