技术参数X1轴测量范围:50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000)分辨率:0.2μm测量方法:反射型光栅尺驱动速度:0.2，1mm/s和手动测量速度:0.2，0.5mm/s测量方向:向后直线度:3.5μm/50mm(CV-1

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