技术参数X1 轴测量范围: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)分辨率: 0.2μm测量方法: 反射型光栅尺驱动速度: 0.2, 1mm/s 和手动测量速度: 0.2, 0.5mm/s测量方向: 向后直线度: 3.5μm/50mm (CV-1000),3.5μm/100mm (CV-2000)* 当X 轴在水平方向上指示精度: ±(3.5+2L/100)μm* L 为驱动长度(mm)倾斜范围: ±45° (CV-2000)Z2 轴(立柱,仅用于CV-2000)立柱类型: 电动(S4 型) 和手动(M4 型)垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)分辨率: 0.2μm (S4 型)测量方法: ABSOLUTE 光栅尺 (S4 型)驱动速度: 0 - 5mm/s 和手动Z1 轴 (检测器)测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)测量方法: 弧形编码器指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm(20° C 时) *H 为水平位置上的测量高度 (mm)探针上/下运作: 弧形运动探针方向: 向下测力: 10 - 30mN跟踪角度: 向上:77°、向下:87°(根据表面粗糙度,使用标准单切面探针)探针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)基座材料: 花岗岩 (CV-2000)重量: 5kg (CV-1000N2),115.8kg (CV-2000M4),124kg (CV-2000S4)电源: 100 - 240VAC ±10%, 50/60Hz能耗: 150W (仅限主机)  性能参数