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微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器工艺流程及控制方法

1.采用进口质量流量控制器控制器气体的体积流量进行二元或三元气体的混合配

比，在设备高精度工作的同时，保证设备运行的可靠性和配比稳定性。（三元气体    以相应标准气体做同比例标定，实测气体显示数据做依据做比对数据检测或联机色谱仪在线监测微调质量流量计设备参数，使其最终混配比例在0.1%以内，具体数据以色谱仪或气体分析仪的分辨率为基准）

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器控制方式

                  采用知名品牌PLC与触摸屏控制，实时显示配比流程、配比比例、工作压力、报

                  警参数等信息，使操作变的简易明了。控制采用PLC与质量流量控制器做通讯控 

                  制，保证了配比的精度，同时设备设手动操作显示仪，可手动调节配比的比例。

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器氢氮混合气检漏技术是一种低成本、高效率、高精度的检漏方式。氢氮混合气检漏原理：
金属氢化物薄膜仅仅对氢原子具有渗透性。当加热金属表面时，氢分子分离成原子被薄膜吸附，吸附的氢原子产生了一个小的电压，经放大器放大并被输送到指示器。5%的氢气+95%氮气的混和气是一种安全的不可燃气体，这是一种炼钢用的标准还原保护气，所以很容易买到混和好的气体，无需自己混气。与氦气检漏相比，氢氮混合气检漏技术的最大优势是气体成本低廉，仅为氦气的1/10-1/20左右！随着现在氦气供应越来越紧缺，价格越来越高，氢氮混合气低成本的优势将更为突出。另外，氢检漏仪本身设备成本低于氦检漏仪，且内部没有真空泵、质谱室、灯丝等部件，无需每年维护。综合成本远低于氦气检漏。氢氮混合气检可以快速检出低至5*10-7mbarl/s的漏率，是目前检漏技术的发展趋势。这种技术在国外已得到了广泛的应用。在国内的空调行业，越来越多的厂商开始使用氢氮混和气检漏来替代原有的吸枪式氦检。

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器检漏应用：
1.  飞机油箱检漏；
2.  空中客车燃油系统；
3.  欧洲先进战斗机燃油系统；
4.  欧洲直升机燃油系统；
5.  F-16战斗机燃油系绕；
6.  欧洲狂风战斗机油箱系统；
7.  波音飞机供氧系统；
8.  瑞典鹰师战斗机燃油系统；
9.  法国空军燃油系统；
10.  美国空军燃油系统；
11.  美国航天火箭；
12.  欧洲航天火箭。

气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。