苏州晟宇气体设备有限公司

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器采用德国原装进口的质量流量计和质量流量变送器为主体的全自动氢氮配气设备，在PLC内完成自编程序，压力传感器和气动阀门的控制下，质量流量计计算氮气输出流量后数据传送给质量流量变送器严格控制氢气的注入量，忽略原气压力，流量变化，在混合气使用点始终得到精确配气，混合气输出端氢气分析仪监控，验证混合气中氢含量，触摸屏完成数据采集，所有参数清晰可见，更换配气比例，一键完成，一键储存，设备有联锁互锁功能，杜绝误操作，数据输出端设有485接口，联机可以完成数据远传，远程控制。

  本装置以工业普氧为原料气，经催化冷却，二级吸附，精密过滤的方法除去氧中微量杂质氢，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和尘埃获得高纯度的氧气。

        微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器本产品结构简单，系统气密性良好，所用催化剂（可视原料气的杂质含量来调整工作温度）可长期使用无需再生，二级双塔并联结构的干燥器延长了干燥器再生时间，再生设定周期168小时，节能高效，最大限度的保证了纯气的品质，高效吸附剂可在产品内再生后重复使用。适用于需要大量高纯氧气半导体、光纤、显像管等主要生产部门。 

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器技术指标

原料气：液氧

处理气量          10Nm3/h

工作压力          1.6Mpa

原料氧的纯度：＞  99.7%

纯化后：          CH4＜0.3ppm          CO2＜0.2ppm     

        H2O＜1.5ppm          尘埃  颗粒≤3.0粒/升（100级）

      装机功率：      380V          5KW

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器设备售后服务与质量保证

1、保修期 

                  设备的保修期为1年，在此期限内，供方所提供的设备及部件因质量问题所出现的破损维修或更换所发生的费用由供方承担。由于错误操作及使用不当而造成的设备破损或更换，所发生的费用由用户承担。在保修期后，供方提供终身优惠的有偿的设备维修服务。

2、现场操作，维修人员的培训

    供方负责培训操作人员能熟练操作设备；

维修人员掌握设备的日常和维修工作；

用户走访

在保修期内不少于一次。

检查设备运行状况，给用户提供合理化建议。

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器、故障排除

微电子氧气纯化设备半导体氮气纯化设备封装线氮氢混合气体配比器接到用户设备出现故障的信息后，当日给用户明确答复。72小时内恢复正常供气。

5、其它服务

5.1）建立用户档案，协助用户进行设备管理；

5.2）定期提醒用户更换易损件，检查设备及注意事项；

5.3）定期进行产品使用跟踪服务调查及售后服务意见征询；