苏州晟宇气体设备有限公司

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置氮气纯化方法有二种：

    真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置一种是直接脱氧法，即采用锰系脱氧剂的特性，加氢激活完成后，在它具备活性金属特性时，真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置与氮气中的氧气进行深度反应，吸收掉氮气中的氧气。并利用分子筛吸收水份和二氧化碳，而这种纯化方法，可以脱除氮气中（除氩气外的）的氧、水和二氧化碳，但是这种纯度的氩气也能满足部分的工业生产的需求。此法常温吸附，再生时加热加微量氢气激活使用，优势：脱氧深度深，长时间使用无需更换耗材，能耗低，此法适用于工业惰性气体保护气或大范围用气，比如单晶硅拉晶工艺等，劣势：禁止用氢场所不推荐，氢气使用及储存注意用气安全，

        另外一种氮气纯化方法，将纯度99.%氮气经设备进口阀门进入催化塔，碳脱氧剂在250-320℃作用下，氮气中的氧和载有活性组分碳炭，在活性组分的催化作用下，定向转化为二氧化碳。经冷却过滤后进入吸附干燥器进行深度脱水和脱除二氧化碳，此时就获得了较高纯度的氮气。

  碳脱氧剂是一种既不要配氢，也无需用氢气还原再生的烧蚀型惰性气体脱氧剂，脱氧后的气体残氧量小于1ppm。与常用的脱氧剂相比具有以下优点：脱氧过程中无氢源，使用安全可靠；脱氧容量大，操作简单，成本低，该脱氧剂用于机械零件和特种钢的光亮热处理以及无线电元件、半导体器件、化工、光导纤维、纺织、特种耐火材料的生产中，用来制作保护性气体。操作稳定可靠，净化后气体中的氧和一氧化碳的含量均达到技术指标要求。优势：对氮气纯度不高，原气大于99%纯度就可以满足，劣势：脱氧深度略低，使用时有能耗，耗材需定期更换，需加大干燥塔和干燥剂的使用量，才能满足工艺需要

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置  作为新材料或其他惰性保护性气体，我们推荐使用直接脱氧法（以纯气中残留氧，水，总碳，粉尘颗粒为考核指标）

  真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置本装置优点：

1，设备操作形式全自动程序控制，人性化设置一键式手动再生按钮，可视纯气质量控制再生时间，避免无谓再生，杜绝浪费

2，本设备全新技改，采用内置加热模式，弃舍了原有设备臃肿的外形及大能耗，使其更节能，外形精巧，与同类产品对比，节能50%以上，更具经济性

3，采用新型工艺  采用锰系脱氧剂常温工作，使其成品气质量更优。耗材利用率明显提高，使其更换时间延至8年左右，减少支出，节能减负

4，本装置具有原位再生功能，取微量纯气成品气配以高纯氢气再生，无需任何外接气源或辅助气源

5，设备在出厂前已完成活化工艺，长时间运行无需检修，在电，气，水正常状态下，设备全智能化程序运行，无需值守，

6，智能化：系统运行时间，故障报警，异常报警，运行轨迹等数据采集集成显示于面板触摸屏，气体纯度分析仪嵌入式安装于设备正面，直观，安全，PLC具备485信号源或模拟信号输出，联机可完成远程控制

7，控制阀门选自德国宝德，1000万次的开启寿命，无限使用零维护

8，汽化器后设置双回路减压系统，工作压力始终如一，安全稳定

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置自动氮气纯化设备概述

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置本方案按用户提供参数定制：

  1、组成简介

  纯化设备工艺由高效脱氧剂、进口分子筛、精密过滤器、再生冷却器、汽水分离器等组成。

  设备运行由PLC控制电磁阀、气动阀、变送器等低压电器运行。所有电器均选用知名品牌，并加有出口低压旁路报警，保证供气点无间断工作。

2，工作原理简介

      原料普通氮气由设备工作进口阀、流量计进入设备工作组，工作组利用高效脱氧剂、分子筛、精密过、滤器对原料氩气中的微量氧、水汽、尘埃、二氧化碳、甲烷、等杂质进行反应、吸附、过滤达到纯化氩气的目的。设备设有两组工作组，一用一备。当一组工作负荷饱和后切换到另一组工作，处理饱和一组的工作组。这样就可以连续的输出纯净的气体供工作点使用。

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置

再生简介

设备工作脱氧塔与干燥吸附塔所装耗材不是短暂的消耗品（吸附饱和后程序自动或手动切换再生，可以反复激活再生一千次以上），所以设备工作方式采用复流程，由两组工作组组成。当一组工作组填装料吸附饱和，装填料已经无法对原料氮气进行提纯时，就需要对它进行处理，我们把这个处理的过程称做再生。再生过程是在对工作组加温、吹扫、加氢、冷却、保压的过程，并且是在常压下完成的。由于工作点是不间断的使用高纯氩气，所以在设备再生的时候切换至另一组工作组工作。此过程可以自动或在手动切换

真空炉氮气纯化器半导体氮气纯化机全自动氮气回收纯化装置主要技术指标  

1．  处理气量                                              ≥300Nm3/h                  

2．  工作压力                                  &n