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自动白光干涉仪 ·基本信息 品牌： SNU 型号： SIS 2000 操作方式： 自动 功能： 检测、观察、分析 精度 ： 1nm 其它型号： SIS 1200 ·产品介绍 白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。 ·产品特点 1、非接触式测量：避免物件受损。 2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。 3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。 5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。 6、扫描仪：采用闭环控制系统。 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。 ·技术参数 　 机型 SIS 2000 工作台 尺寸 350mm×350mm 倾斜度 ±3 ° 测量行程 X:200mm Y:200mm Z轴行程 100mm 运动方式 自动，马达驱动 扫描速度 30μm/sec 垂直分辨率 0.1nm CCD 黑白CCD， 640×480 像素 物镜安装架 手动 5个位移的可定位夹具 镜头选配 镜头：5×、10×、20×、50×