苏州瑞测精密仪器有限公司

LSI检查显微镜
ECLIPSE L200 反射专用型
ECLIPSE L200D 透反射两用型 
使用世界顶级水平的尼康CFI60光学系统，对光路中的耀斑有很好的抑制，可以实现很高的图象对比度。
可以观察的最大硅片直径为200mm，观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；
物镜齐焦距离为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；
主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；
光亮调节、光阑调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；
可以与尼康的硅片输送机配合使用，提高硅片检测效率。
＜微分干涉套＞ 
全体物镜共用物镜转换器内的诺曼斯基棱镜，结构简单，成象质量高。