简介:
美国AEPTechnology公司主要从事半导体检测设备,MEMS检测设备,光学检测设备的生产制造,是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。公司始终致力于微观表面“三维”检测技术和设备的研发及推广,历经近十年努力,已为30多个国家提供NanoMap系列三维表面形貌测量系统。
NanoMap-LS三维表面形貌/轮廓仪主要应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各种材料表面的薄膜厚度,台阶高度,二维粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),三维粗糙度(Sa,Sq,Smax),划痕截面面积,划痕体积,磨损面积,磨损体积,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量。摆脱了以往只能得到二维信息,或三维信息过于粗糙的现状。将台阶仪带入了另一个高精度测量的新时代。
特点:
1.    全自动软件控制
2.    0.1到100mg接触力
3.    垂直分辨率可达0.1nm。
4.    每次扫描最少100点,最多可达150,000数据点
5.    一体化彩色摄像机在扫描同时可直接观察样品
6.    简单一键操作与用户友好的操作界面
 
应用领域:
测量表面可以覆盖多种材料表面:金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等,对于植物表面,生物材料,聚合物表面,光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高,稳定性好。热噪声是同类产品最低的。
 
主要技术参数
垂直分辨率:0.1nm
重复性:0.54nm(1Sigema@1um)
垂直范围:524um(1mm可选)
扫描范围:150mmx150mm