北京高控科技有限公司

Aerotech超精密气浮转台、机械转台

1.Aerotech超精密气浮转台、机械转台概述


Aerotech制造了庞大的精密旋转平台产品线供您选择，型号包括使用我们自己的内置无刷旋转伺服电机驱动的直驱转台，以及蜗轮蜗杆驱动的定位转台。其中精密直驱转台包括精密空气(气浮)轴承直驱转台和精密机械轴承直驱转台。转台具有许多不同尺寸的通孔直径、台面直径以及安装选项，为您的工业自动化应用提供理想的解决方案。平台的摆动、跳动、角度定位和速度稳定性都非常出色。Aerotech的定位平台非常适合用于工业机器人、光纤光学和光子学、视觉系统、机床、装配、半导体设备、医疗部件激光加工、超精密微细加工、硅片检查、电子制造业、hang空电子设备等高性能应用以及其他工业自动化应用。此外，Aerotech制造的高性能驱动器和控制器可与我们的直驱旋转平台完美匹配，为您提供完美的运动控制解决方案。
分辨率可达0.027-5.5arc-sec 
双向重复性小于1arc-sec 
定位精度可达±2arc-sec

Aerotech超精密气浮转台、机械转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRT-400空气轴承精密直驱转台|ABRT-400Air-BearingDirect-DriveRotaryStage|ABRT-400精密气浮直驱转台


ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。


ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。


RotaryStage|ABRT-400精密气浮直驱转台


ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。


ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。
特点规格
●精度：<0.6微弧度（<0.12弧秒）
●zui小增量步距：0.035微弧度（0.007弧秒）
●重复性：<0.4微弧度（<0.08弧秒）
●轴向运动误差：<50纳米同步<10纳米异步
●径向运动误差：<75纳米同步<10纳米异步


空气轴承旋转主轴
ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。


ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质结晶或高精度加工应用。


AerotechABRS/ABRT精密气浮转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRS系列空气轴承精密直驱转台|ABRSAir-BearingDirect-DriveRotaryStage|ABRS系列精密气浮直驱转台
Aerotech的ABRS系列旋转空气轴承平台提供卓越的角度定位，速度稳定性和低运动误差性能在一个非常低矮的封装结构中。ABRS旨在满足晶片检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造，以及微机电系统/纳米器件的制造等应用的严苛要求。


AerotechABRS系列空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能，并且拥有非常低矮的外形。


●直驱无刷无槽伺服电机
●非机械接触
●零齿槽效应电机带来显著的速度稳定性
●显著的无误差无抖动运动特性
●直接耦合的高精度编码器
●扁平设计的低矮外形
●直径：128.1-278.1mm
●分辨率：0.036-0.18arc-sec
●双向重复性：<1arc-sec
●定位精度：±2arc-sec


AerotechABRS/ABRT精密气浮转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ARA1000空气轴承精密直驱转台|ARA1000Air-BearingDirect-DriveRotaryStage|ARA1000精密气浮转台
Aerotech的ARA1000旋转执行器代表了显著的突破性应用，如平板显示器处理加工所要求的大型有效载荷的联接方式。高负载惯量多轴系统可能遭受机械不稳定，限制整机生产效率。ARA1000通过设计，显著提高了平台刚性，消除了这个问题。ARA1000转台采用了标准的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿过真空线路。台面包括一个标准的安装模式，其允许非常容易地进行卡盘安装。


Stage|ARA1000精密气浮转台
Aerotech的ARA1000旋转执行器代表了显著的突破性应用，如平板显示器处理加工所要求的大型有效载荷的联接方式。高负载惯量多轴系统可能遭受机械不稳定，限制整机生产效率。ARA1000通过设计，显著提高了平台刚性，消除了这个问题。ARA1000转台采用了标准的57.2毫米通孔，它可以很容易地穿过真空线路。台面包括一个标准的安装模式，其允许非常容易地进行卡盘安装。
特点规格
●高承载能力
●高刚性
●直接驱动无刷无槽伺服电机
●大孔径
●与AVL1000升降平台轻松配置多轴应用


AerotechABRS/ABRT精密气浮转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8


ABRS旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4卓越的运动性能，误差小，无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec 


AerotechABRS/ABRT精密气浮转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8
 
ABRT旋转气浮平台
1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4卓越的运动性能，误差小，无抖动
5直联高精度旋转编码器
6超大的空心轴径，无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
  
AerotechABRS/ABRT精密气浮转台：张1-8-5——1-8-5-5——8-6-8-8