西尼特（北京）电炉有限公司

CNT石墨烯生长炉是一款专业在铜箔为沉底材料上生长高质量石墨烯的专用设备，通过拓展也可用用于其他二维材料譬如二硫化钼、碳纳米管等的生长，广泛应用于航空航天、微电子等领域。

石墨烯生长炉主要由铜箔、高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、真空系统、自动化控制系统、冷却系统等组成。

1、沉底材料采用铜箔；

2、生长腔体采用进口高纯石英管，配石英支架、为石墨烯的生长提供洁净环境；

3、加热腔体采用进口陶瓷纤维加热器，均温区650mm、对开式结构；

4、加热炉体配有移动滑轨，可左右移动；

5、密封法兰均采用不锈钢材质，配水冷套，可连续长时间工作；

6、气路系统采用三路质量流量计（可拓展多路），配预混系统；

7、真空系统采用机械泵，可选配扩散泵或分子泵机组；

8、控制系统采用10寸触摸屏加西门子PLC模块；

9、可选配RF射频电源模块

10、气体种类：N2、H2、CH4

11、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制，通过PC实时控制和显示相关的实验参数，自动保存实验参数，也可采用手动控制

12、系统采用集成化设计，控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部，占地面积小。整体安装四个可移动轮子，方便整体移动。