西尼特（北京）电炉有限公司

CNT石墨烯连续生长炉是一款专门进行大面积，连续化生长高质量石墨烯的专用设备，通过拓展也可用用于其他二维材料的生长。

 石墨烯连续生长炉主要由铜箔、真空进料室、真空出料室、高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、真空系统、自动化控制系统、冷却系统等组成。

1、真空进料室和出料室均采用不锈钢腔体、内置安装支架、不锈钢辊轮，主要用于铜箔的安装和取放。其中铜箔的收集主要通过步进电机带动不锈钢辊轮进行。

2、生长腔体采用进口高纯石英管，配石英支架、石墨板、为石墨烯的生长提供洁净环境；

3、加热腔体采用进口陶瓷纤维加热器，均温区650mm、对开式结构；

4、加热炉体配有移动滑轨，可左右移动；

5、密封法兰均采用不锈钢材质，配水冷套，可连续长时间工作；

6、气路系统采用三路质量流量计（可拓展多路），配预混系统；

7、真空系统采用机械泵，可选配扩散泵或分子泵机组；

8、控制系统采用10寸触摸屏加西门子PLC模块；

9、可选配RF射频电源模块

10、气体种类：N2、H2、CH4

11、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制，通过PC实时控制和显示相关的实验参数，自动保存实验参数，也可采用手动控制

12、系统采用集成化设计，控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部，占地面积小。整体安装四个可移动轮子，方便整体移动。