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      三次元测量仪温度变化也是产生变形的主要因素,量具、仪器和工件在测量前必须有一段时间在规定的温度范围内等温。测量过程中环境温度波动要小,必须恒定在规定的范围内;尽可能不直接用手接触量具、仪器和工件。
      三次元在高精度测量时,还需将人与仪器隔离。如接触式干涉仪使用时,需用隔离屏将人的呼吸与仪器隔离,操作时带手套,测量时用导热系数低的木夹子夹带工件。对于高等级的量块、线纹尺陈有很高的环境要求外还要对其温度进行测量并加以修正。
      由于标准器的温度和膨胀系数与被测件的温度和膨胀系数不一致引起的测量误差,在比较测量时,平面形工件采用球面测头,圆柱形工件采用刀口或圆柱测头,因为测量力和接触的形式不同,影像测量仪对接触变形的影响也不同,所以在高精度测量时,必须准确选择测量力和测头工作面半径,并在测量结果中进行接触变形误差修正。
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