宁波骏鹰机械有限公司

产品说明： 
 
产品名称:工具镀专用镀膜机
 
产品描述: 最新研制开发的一种物理气相沉积（PVD）真空镀膜设备,可同时安装两至四种不同纯金属或合金靶材,进行单层或多层（纳米）膜的镀制。适用于各类工具镀镀膜要求，如切削工具，钻头、冲摸具等。通过对工件表面在物理、化学、机械、颜色等方面的改质，达到耐磨、超硬、自润滑的效果。
 
产品详情说明:
主要特点：
1、采用反应气体等离子源辅助沉积，对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积；
2、采用大功率的脉冲偏压电源，使工件与膜层获得更好的结合力；
3、采用多套孪生靶及弧，可同时安装2—4种不同纯金属或合金靶材，获得复合纳米镀层；
4、工件架采用公、自转结构，承重能力强及耐高温，并可移动出腔体，方便装卸比较重的模具。
5、触摸屏+PLC,可实现全自动控制，自动/手动随时切换；
 
基本配置：   
1、真空室立式单开门结构，304不锈钢制造，真空室内直径自Φ1000mm-Φ1300mm；
2、真空系统由旋片泵、罗茨泵和扩散泵或分子泵构成；
3、镀膜系统采用1-2台中频磁控溅射电源，配有1-2对非平衡磁控靶，并配有6-14个热阴极电弧；
4、大功率脉冲偏压电源；
5、充气系统采用国产或进口气体质量流量计、气体流量控制（显示）仪；
6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置；
7、控制系统（触摸屏+PLC），实时显示详细参数，全自动控制整个生产过程，并自动存储工艺参数。
 
技术参数： 
总重量 2500kg～4000kg 
名义功率 150KW～200KW 
抽速（空载） 8×10-3Pa≤20min 
极限真空（空载） ≤8×10-4Pa 
压升率（空载） 0.67Pa/小时 
工件转速 0～5r/min 
烘烤温度 室温～500度