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薄膜材料方阻测试硅晶块电阻测试仪

一、概述：本品为解决四探针法测试超低阻材料方阻及电阻率，最小可以测试到1uΩ方阻值，是目前同行业中能测量到的最小值，采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。选购：本机还可以配合各类环境温度试验箱体使用，通过不同的测量治具满足不同环境温度下测量方阻和电阻率的需求.

二、广泛用于：覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等

三、参数资料

1.方块电阻范围：10^-6～2×10²Ω/□

2.电阻率范围：10^-7～2×10³Ω-cm

3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100µA.

4.电流精度：±0.1%读数

5.电阻精度：≤0.3%

6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率.

7.测试方式: 双电测量

8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ，50Hz  功 耗：< 30W

9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）

10.选购功能: 选购1.pc软件； 2.方形探头； 3.直线形探头； 4.测试平台

11.测试探头：  探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针

ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 

企业名称：宁波江北瑞柯伟业仪器有限公司    
通讯地址：浙江省宁波市江北区洪塘街道横山村前王1号    
经营范围：粉末堆密度仪，电压降测试仪，粉体和颗粒特性测定仪，体积电阻率测试仪，接触压降测试仪，休止角测定仪，粉末电阻率测试仪，安息角测定仪，休止角测试仪，松装密度测定仪，振实密度仪，斯柯特容量计，霍尔流速计， 堆积密度测定仪，粉体特性综合测试仪，粉末流动性测试仪，表观密度测定仪，密度计，体积密度测定仪，比重计，真密度仪，表面电阻率测试仪，导体电阻率测试仪，四探针测试仪，粉体和颗粒形状分析仪，粉末综合测量粉末堆密度仪，电压降测试仪，粉体和颗粒特性测定仪，体积电阻率测试