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我们知道在可燃性硫及硫化合物在燃烧时，主要是生成SO2，只有1%——5%氧化成SO3。其主要化学反应如下：

　　如单体硫燃烧：S＋O2= SO2

SO2＋  O2= SO3

　　虽然SO2在洁净干燥的大气中氧化成SO3的过程是很缓慢的，但是，在相对湿度比较大，特别是在有颗粒物存在时，可发生催化氧化反应，从而加快生成SO3。

　　　　　　　SO2*＋O2→SO3＋〔O〕

　SO3＋H2O→H2SO4

而SO2在干燥空气中，其含量达800ppm时，人还可以忍受。但在三氧化硫与水结合可形成硫酸气溶胶后，其含量仅0.8ppm人即不可忍受。

　　当SO3溶于水时放出大量的热，使水蒸发成为蒸汽态，而三氧化硫本身熔点16.8度和沸点44.8度很低，因此它也会蒸发为气态，并与空中的水蒸气反应生成硫酸小液滴，也就是酸雾。酸雾的腐蚀性比SO2更严重，如果酸雾进入到系统设备中，如电磁阀，连接接头，测量池等，都会造成这些部件的腐蚀， 雾吸收器在CEMS系统中同时过滤其它粉尘结晶物，保证了抽气泵等重要部件的长期运行，延长部件的寿命。因此雾吸收器在CEMS系统中起的一个非常重要的作用，整个CEMS系统的长期稳定运行都是离不开它。