Awave EUV系列主要特点:1. 声光调Q2. 纳秒脉冲3. TEM00模式Awave EUV系列激光器包括一个激光头及激光控制器,由一个2.5米的套管连接,能够满足客户高强度7×24小时工作生产要求。光纤耦合二极管泵浦位于激光控制器内,方便现场更换。激光头在洁净室中密封封装,确保长期有效稳定的使用。Awave EUV系列激光器脉冲频率1~100kHz,平均功率10mW~100mW,脉冲能量超过0.1mJ。
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