KH2200离子刻蚀机是全自动的晶体系和振荡器频率微调系统。晶体使用载盘装载,然后自动传送到真空室,晶体频率通过离子刻蚀系统进行调整,可同时调整360个或384个晶体。
测试系统使用KH1800网络分板仪,频率范围1-120Mhz.或使用1820网络分析仪,频率范围20KHz-400KHz及500KHz-240Mhz.使用PI网络测试头,高激励清洗机功能可选,以提升晶体的电性能及老化特性。
KH2200采用阳极层离子源,其性能优良并便于维修。超宽的刻蚀区域允许更多的晶体同时微调。
刻蚀完成后,系统将依照设备的QC范围自动进行检测,不良品将高亮显示以便于使用者分选。