上海兆茗光电科技有限公司

MKS气体分析仪

          上海兆茗光电科技有限公司优价销售美国MKS射频  /直流  /微波电源发生器、MKS氟离子/臭氧反应气体发生器、MKS真空产品、MKS气体分析仪、MKS测量，  控制仪

        美国MKS  是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，  其产品广泛地应用于各种半导体器件生产，  平板显示器，  光学储存介质，  玻璃镀膜，  光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。  MKS  前瞻性的创新开发，  推动其产品一直处于全球技术领先地位。  MKS  的电源，  测量，  控制和复杂气体相关的工艺监控技术，改善了设备完好率和产品成品率，  提高了生产产量和产品性能。  MKS  产品起源于我们的压力测量和控制核心技术，  延伸到材料递送，  气体和薄膜成分分析，  静电荷控制，  工艺控制，  信息管理，  电源和反应气体发生器及真空技术。 

          MKS成立于  1961  年，总部位于美国东部波士顿以北的  Wilmington。  近三千名员工工作在全球各地十三个分公司，  七个研究中心，  十个生产基地  (其中中国深圳的  ENI电源工厂拥有近  500员工)  及  140  多个销售办事处和  30  多个技术服务中心。  公司在纳斯达克上市，股票代码：  MKSI。 

          MKS  拥有完整的技术及产品资源，  无论是产品的研发设计，  生产管理还是客户支持服务，  都能快速满足客户的各种特殊需求。  MKS主要提供有：气体压力及流量测量和控制，  射频  /直流  /微波电源发生器及测量工具，  氟离子  /臭氧反应气体发生器，  真空产品，  气体分析仪，  静电控制及信息和控制技术等产品。 

流量测量、控制和验证  Flow  Measurement，  Control  &  Verification

G系列通用数字质量流量控制器

通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟（0-5V或4-20mA）和数字（RS-485、DeviceNet、Profibus）通讯接口可选。

·  GE50A  橡胶密封数字质量流量控制器，满量程范围从10  sccm  –  50  slm。

·  GM50A  金属密封数字质量流量控制器，满量程范围从10  sccm  –  50  slm。

·  GV50A  带截止阀的橡胶密封数字质量流量控制器，满量程范围从10  sccm  –  50  slm。

压力/真空测量 

Baratron®直接压力/真空电容压力计 

HPS®真空传感器，仪表，传感器和控制器 

MKS是全球领先的压力和真空测量。  MKS的家庭压力和真空测量仪器包括的Baratron®电容压力表，压力传感器，压力开关，压力控制子系统，真空和压力表，真空及压力传感器和真空及压力表控制器。

控制系统  Control  Systems

智能自动化方案

·  cLogic  供集散控制逻辑的自动化方案

·  可编程互锁软件

·  SenseLink™QM  在线质量检测

·  Recipe引擎

子系统与可编程自动控制器

·  RMU带紧凑网络I/O的远程检测单元。

·  ECM  EtherNet控制模块。

·  ECM2  EtherNet控制模块和平台

输入/输出口和集散控制

·  MacroNode™  紧凑型网络输入/输出模块

·  MicroNode™  以太网输入/输出系统

·  MultiTherm  1000  EtherCAT™通讯温度控制器

·  AS01391  DeviceNet™数字型输入/输出VME板卡

·  AS01396  DeviceNet™数字型输入/输出VME板卡

·  A