温州驰诚真空机械有限公司

CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备——驰诚

CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备——产品信息

特征描述:

驰诚CCZK-ION多弧离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。 

全SUS304优质不锈钢机身，隐藏式双层冷却水套设计 

合理配备多套最新研制的离子弧源，有效保障弧源溅射的稳定性与均匀性 

采用先进的多路进气系统，精准控制气体流量，满足您多种化合物膜层需求。 

装载大功率脉冲偏压电源，极大提高电粒子能量，从而获得优秀的膜层结合力和光洁度 

采用驰诚创新工艺制造，精益求精，全面通过欧盟CE和ISO国际质量管理体系认证； 

技术配置

腔体结构:    立式前开门，卧式前开门，后置真空获得系统 

材质用料:    腔体采用优质SUS304不锈钢材质 

离子弧源:    依据设备大小不同配备多套弧电源系统 

偏压电源:    配备大功率单级脉冲偏压电源 

多弧靶材:    标配多套钛靶或不锈钢靶材 

转动系统:  变频调速，公自转结合，可采用上传动或下传动方式 

真空系统（装饰镀膜设备Decorative  coating）:扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统（可选） 

真空系统（超硬质工具镀膜Tooling  coating）:分子泵+罗茨泵+直联泵（进口）+维持泵+可选深冷泵 

气体控制:    多路气体质量流量控制系统 

加热系统:    装饰镀膜350℃温控PID可调可控制，    超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现逻辑全自动控制 

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。 

其他技术参数： 

极限真空：  5.0×10-4Pa 

抽气速率：  5.0*10-2≤5min 

水压流速≥0.2Mpa  3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa； 

备注: 

一般规格： 

      Φ1000*H1200，Φ1400mm*H1600mm，Φ1200mm*H1500mm，

      Φ1800mm*H2000mm，  Φ2000mm*H2200mm 

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做

多弧离子镀膜机：http://www.zhongk.com/duohulizi/

真空镀膜机：http://www.zhongk.com/

真空镀膜设备：http://www.zjcczk.com/

镀膜设备:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备——厂家信息

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