温州驰诚真空机械有限公司

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备—镀膜设备—驰诚

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备——产品信息

驰诚CCZK-SF磁控溅射镀膜机，具备成膜速率高，基片温度低，膜的粘附性好，可实现大面积镀膜 

相对于传统蒸发镀膜设备，驰诚磁控溅射镀膜可获得更为优秀的膜层致密性，均匀性和结合力 

采用最为先进的直流或中频磁控溅射电源，满足不同层次客户需求 

先进的高速低温溅射技术，极大的扩展了驰诚CCZK-SF磁控设备的应用范围，对无法受热或耐热力产品提供优质的溅射镀膜解决方案 

采用驰诚创新工艺制造，精益求精，全面通过欧盟CE和ISO国际质量管理体系认证；

腔体结构:    立式前开门，卧式前开门。 

材质用料：腔体材质为SUS304不锈钢或碳钢 

真空系统:    扩散泵（可选分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵（另有深冷泵系统可供选择） 

溅射靶材:    中心圆柱靶，平面靶，孪生靶等 

磁控电源:    可配备直流或中频磁控溅射电源 

转动系统:    变频调速，公自转结合，可根据客户产品和要求设计 

膜层结构:    单层膜、多层膜 

气体控制:    气体流量控制仪集成触控操作控制 

人机界面:  PLC智能控制+全彩HMI触摸屏 

操作方式:  逻辑全自动方式、半自动方式、手动方式 

智能控制:  PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制 

报警及保护:异常情况进行报警，并执行相应保护措施。 

其他技术参数： 

极限真空：  5.0×10-4Pa 

抽气速率：  5.0*10-2≤5min 

水压流速≥0.2Mpa  3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa； 

备注: 

一般规格: 

      Φ1000mm*H1200mm，Φ1400mm*H1600mm，Φ1200mm*H1500mm， 

      Φ1800mm*H2000mm，  Φ2000mm*H2200mm 

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做 

真空镀膜设备：http://www.zjcczk.com/

镀膜设备:http://www.zjcczk.com/product/167.htm

CCZK-SF磁控溅射镀膜设备——厂家信息

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