精密和超精密加工机床的现状及发展趋势 超精密加工目前尚没有统一的定义,在不同的历史时期、不同的科学技术发展水平情况下,有不同的理解。目前,工业发达国家的一般工厂己能稳定掌握3μm的加工精度(我国为5μm)。因此,通常称低于此值的加工为普通精度加工,而高于此值的加工则称之为高精度加工。 在高精度加工的范畴内,根据精度水平的不同。分为3个档次: 精度为0.3~3μm,粗糙度为0.03~0.3μm的为精密加工; 精度为0.03~0.3μm,粗糙度为0.005~0.03μm的称作超精密加工,或亚微米加工; 精度为0.03μm(30nm),粗糙度优于0.005μm以上的则称为纳米(nm)加工。 我国的超精密加工技术在上世纪70年代末期有了长足进步,80年代中期出现了具有世界水平的超精密机床和部件。北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一,研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等,如精度达0.025μm的精密轴承、JCS-027超精密车床、JCS-031超精密铣床、JCS-035超精密车床、超精密车床数控系统、复印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、超精密振动一位移测微仪等,达到了国内、国际先进水平。航空航天工业部303所在超精密主轴、花岗岩坐标测量机等方面进行了深入研究及产品生产。大理石机械构件在金刚石超精密切削、金刚石刀具晶体定向和刃磨、金刚石微粉砂轮电解在线修整技术等方面进行了卓有成效的研究。清华大学在集成电路超精密加工设备、磁盘加工及检测设备、微位移工作台、超精密砂带磨削和研抛、金刚石微粉砂轮超精密磨削、非圆截面超精密切削等方面进行了深入研究,并有相应产品问世。此外,中科院长春光学精密机械与物理研究所、华中理工大学、成都工具研究所、国防科技大学等都进行了这一领域的研究,成绩显著。但总的来说,我国在超精密加工机床的效率、精度、可靠性,特别是规格(大尺寸)和技术配套性方面与国外相比,与生产实际要求相比,还有相当大的差距。