SGS检测告诉你表面异物分析是什么意思

表面异物分析是什么意思    具体的解答如下

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当材料及零部件表面出现未知物质，不能确定其成分及来源时，可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。

分析方法：

根据样品实际情况，以下分析方法可供选用。

仪器名称

信号检测

元素测定

检测限

深度分辨率

适用范围

扫描电子显微镜（SEM）

二次及背向散射电子&X射线

B-U  (EDS  mode)

0.1  -  1  at%

0.5  -  3  µm  (EDS)

高辨析率成像

元素微观分析及颗粒特征化描述

X射线能谱仪（EDS）

二次背向散射电子&X射线

B-U

0.1  –  1  at%

0.5  –  3  μm

小面积上的成像与元素组成；缺陷处元素的识别/绘图；颗粒分析（> 300nm）

显微红外显微镜（FTIR）

红外线吸收

分子群

0.1  -  1  wt%

0.1  -  2.5  µm

污染物分析中识别有机化合物的分子结构

识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体（材料识别）

量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢  （Si-H  vs.  N-H）

污染物分析（析取、除过气的产品，残余物）

拉曼光谱（Raman）

拉曼散射

化学及分子键联资料

> =1  wt%

共焦模式
1到5  µm

为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构

拉曼，碳层特征  （石墨、金刚石  ）

非共价键联压焊(复合体、金属键联)

定位(随机v.  有组织的结构)

俄歇电子能谱仪（AES）

来自表面附近的Auger电子

Li-U

0.1-1%亚单层

20  –  200  Ǻ侧面分布模式

缺陷分析；颗粒分析；表面分析；小面积深度剖面；薄膜成分分析

X射线光电子能谱仪（XPS）

来自表面原子附近的光电子

Li-U化学键联信息

0.01  -  1  at%  sub-monolayer

20  -  200  Å（剖析模式）
10  -  100  Å  (表面分析）

有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析

测量表面成分及化学状态信息

薄膜成份的深度剖面

硅  氧氮化物厚度和测量剂量