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多晶硅片清洗

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供货能力30 套/月

发货地上海市市辖区奉贤区

更新时间2014/3/10 10:11:07

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规格参数

产品介绍

多晶硅片清洗硅片清洗加工设备，可广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的清洗腐蚀，德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工；该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。可用于完成扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的清洗工作。例如：RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金属离子及杂物去除清洗等。 ◇全自动硅片清洗机 ◇手动硅片清洗机