供应ZDF-5327Ⅱ型复合真空计

1  仪器的用途及使用范围
ZDF-5327Ⅱ型复合真空计由双路热偶规(ZJ-53B)与单路电离规(ZJ-27)组成，用于2.7×102～6.6×10-6Pa之间的压力测量，适用于真空应用、真空获得等需要实时监测真空与控制输出的设备制造行业，包括半导体制造、镀膜设备、真空排气台、真空冶炼设备等生产车间及大专院校、科研院所实验室。仪器使用环境条件在5℃～35℃，相对湿度在80%以下，无强磁场及剧烈震动的场合。

2  主要技术性能规范
2.1  测量范围                 热偶部分：2.7×102～1.0×10-1 Pa
电离部分：1.3×100～6.6×10-6 Pa
2.2 测量精度                  热偶部分：≤±30%
                              电离部分：≤±5%
2.3  电源                      ～220V±22V  50Hz ±1Hz 
2.4 热偶规管恒定加热电流       29mA±1.5mA（27 mA±1.5mA）
2.5  电离规管发射电流         1.3×100～1.3×10-1 Pa  100μA
1.3×10-1～6.6×10-6 Pa  1mA  
2.6  加速极对地电压          225V±2V
2.7  灯丝对地电压             25V±1V
2.8  收集极对地电压          0V
2.9  除气电压                ～8V±2V 
2.10  仪器外形尺寸            装架式： 90mm×480mm×280mm
2.11  仪器开孔尺寸            88mm×440mm
2.12  仪器重量                5kg