(一)莱宝真空泵配件的起始压强
真主泵开始工作时被抽容器或真空泵的入口处应具有的压强称为起始压强。如超过这一压强真空泵就无法工作。
各种不同类型的真空泵的起始压强有很大差别。如机械真空泵的起始压强为大气压,即可在大气压下开始工作。而蒸气流扩散泵必须在具有一定的前置真空的情况下才能工作。各种钛泵的起始压强在10-2一10-4托之间。
(二)最大(临界)反压强
莱宝真空泵配件维持正常工作出口处允许的最大压强,称为最大反压强或临界反压强。如真空泵出口处的压强超过该值,即失去工作能力。对蒸气流扩散泵而言,起始压强实际上就是最大反压强。
(三)极限压强
莱宝真空泵配件的入口端经过较长时间的充分抽气后所能达到的最低压强,称为极限压强。此时的真空度称为极限真空度。
一般况下,极限压强总是由永久气体分压强和各种蒸气分压强组成。蒸气分压强取决于泵本身的工作液蒸气、水热气以及易挥发的密封物质的蒸气。
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