100度/200度/300度可设定class10级晶圆片烘烤无尘烘箱
一、双层无尘烘箱产品概述:
本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423.2-1989干燥箱技术条件及国家相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。
二、双层无尘烘箱主要技术指标:
2.1产品型号:COL-2D(双箱)
2.2无尘等级:Class  10
2.3温度范围:  +60~  +300℃;
2.4升温速度:常温~+200℃,升温速度> 6℃/min    ,降温速度  3℃/min(适用于150℃~80℃)
2.5温度均匀度:±2.5℃ (空载)
2.6温度精确度:±1℃(空载)
2.7工作室尺寸:W700×H500×D600
2.8电        源:380v  ,  50Hz
2.9环境条件:温度  5~40℃;湿度  ≤85%R.H
2.10气压:86~106Kpa
三、双层无尘烘箱箱体结构:
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
3.3箱体材料:SUS304#不锈钢板; 
3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生  PARTICLE; 
3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
3.6  保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造。 
3.7电热器:采进口覆套式电热器  (SHEATHED  HEATER)无尘化电热发生器。
3.8洁净度:烤箱内部均采无尘化配件及材料。
双层无尘烤箱热线:021-37693997,15221744475  传真:021-37832075联系人:蒋鑫,
网站:www.done-e.com.
 
100度/200度/300度可设定class10级晶圆片烘烤无尘烘箱