4”晶圆退火烤箱
 
洁净烤箱:
洁净烤箱概述:
      洁净烤箱。是一种提供高温净化环境的特殊洁净烘干设备。箱内材料采用无尘材料,通过外置过滤器持续补充洁净气体,从而使烘箱工作室内达到无尘状态。
      工作室内温度由温控仪智能控制,具备自动恒温及时间控制功能,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。
洁净工业烤箱详细资料:
一.特点:
1.在无尘洁净环境下使用,能够确保烘箱内部同样洁净;
2.全周氩焊,无尘电热器,机台不产微尘;
3.特殊风路设计,腔体内洁净度、温度均匀度十分优秀。
二.执行与满足标准
1.GB/T11158-1989高温试验箱技术条件
2.GB2423.2-1989试验B
3用途
洁净工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
三.产品技术参数
1.产品名称及型号:洁净烘箱
2.主要技术指标:
    2.1温度范围: 60~ +300℃;
    2.2温度均匀度:200℃±3℃、300℃±4℃
    2.3温度波动度:±0.5℃(空载)
    2.4温控精度:±0.1℃
    2.5烘箱搁板为活动形式。
    2.6电源:380v , 50Hz
四、完善的安全保护措施:
      漏电断路器、
      控制线路保险丝装置、
      超温防止保护装置、
      电热过电流保护装置、
      马达过电流保护、
      机台异常蜂鸣器警示
      逆向防止器、
      门安全开关
五、选购设备:
      6.1 可程式温控器
      6.2六点温度记录仪
      6.3三色指示灯
      6.4烘烤架
4”晶圆退火烤箱