产品介绍 真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种产品属性 需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。 使用方法 严格按照产品说明书操作使用,如出现不能解决的问题及时拨打我们的售后电话故障排除 详情请见产品说明书常见故障问题处理,如出现不能解决的问题及时拨打我们的售后电话。安装、维护 严格按照产品说明书安装和维护,能有效体高产品的使用寿命注意事项 1. 开水泵、气源。 2. 开总电源。 3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。其他说明 1. 总电源。 2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。交易说明 欢迎广大客户来厂参观、选购