罗茨真空机组的罗茨旋片真空机组是以罗茨泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。罗茨旋片真空机组选用旋片泵作为前级泵,它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,同时保留了罗茨泵能迅速工作,有较大抽气速率的优点。 因该机组结构紧凑、抽速大、占地面积小,可以代替多台机械真空泵,因此罗茨泵-旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的以及不含有颗粒尘埃的气体。
罗茨真空机组在一般工况条件下,罗茨泵和旋片泵串联组成的机组最多可以为三级(二台罗茨泵和一台旋片泵),其极限压力可以提高一个数量级,即进入10-1Pa,但要获得更高的极限真空,再增加罗茨泵效果则不明显。与前级同为机械泵的其它类型机组相比,本型号机组体积小,重量轻,噪声低,真空度高。适合于抽除无腐蚀性、对泵油不起化学反应的洁净气体,在气镇条件下,也可抽除少量可凝性气体。机组既可以作为主抽气设备,又可以作为更高真空获得设备(如扩散泵)的前级或预抽设备,广泛应用于真空冶炼,钢液脱气、真空干燥、真空浸渍、真空绝热、真空浓缩、真空脱色及脱臭、电光源及保温瓶胆的排气等。
参考网址: http://www.jllyj.com.cn