济宁新格瑞水务有限公司

电子行业超纯水常规制备工艺
电子行业超纯水常规制备工艺
1）采用离子交换方式，其流程如下： 
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点 
2）采用反渗透加离子交换方式，其流程如下： 
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点 
3）采用反渗透加EDI方式，其流程如下： 
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
电阻率
MΩ?cm（25℃） 18
(95%时间)
不低于17 15
(95%时间)
不低于13 12.0 0.5
全硅 最大值ug/L 2 10 50 1000
>1um微粒数，最大值 个/ml 0.1 5 10 500
细菌数，最大值，个/mL 0.01 0.1 10 100
铜，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
锌，最大值 ug/L 0.2 1 2 500
镍，最大值 ug/L 0.1 1 2 500
钠，最大值 ug/L 0.5 2 5 1000
钾，最大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯，最大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根，最大值 ug/L 1 1 10 500
总有机碳，最大值 ug/L 20 100 200 1000