欣源科技（北京）有限公司

电子束光刻系统EBL(E-BeamLithography)
电子束直写系统、电子束曝光系统
CABL-9000Cseries
30kV、50kV、90kV、110kV、130kV
2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸

纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用，而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供尖端的电子束纳米光刻（EBL）系疋统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。

型号包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB。其中CABL-9000C系列最小线宽可达8nm，最小束斑直径2nm，套刻精度20nm(mean2σ)，拼接精度20nm(mean2σ)。
技术参数：
1.最小线宽：小于10nm（可实现8nm)
2.加速电压：5-50kV
3.电子束直径：小于2nm
4.套刻精度：20nm(mean2σ)
5.拼接精度：20nm(mean2σ)
6.加工晶圆尺寸：4-8英寸(standard)，12英寸(option)
7.描电镜分辨率：小于2nm

主要特点：
1.采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪
2.出色的电子束偏转控制技术
3.采用场尺寸调制技术，电子束定位分辨率（addresssize)可达0.0012nm
4.采用轴对称图形书写技术，.欣源科技（北京）___电子束直写
，图形偏角分辨率可达0.01mrad
5.应用领域广泛，如微纳器件加工，Si/GaAs兼容工艺，研究用掩膜制造，纳米加工（例如单电子器件、量子器件制作等），高频电子器件中的混合光刻（Mix&Match），图形线宽和图形位移测量等。
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超高分辨率电子束光刻EBL
UltrahighResolutionEBLithography(CABL-UHseries)

纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用，而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供尖端的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。

超高分辨率的电子束光刻CABL-UH系列的型号包括：
CABL-UH90(90keV)、CABL-UH110(110keV)、CABL-UH130(130keV)

技术参数：
加速电压：最高130keV
单段加速能力达到130keV，欣源科技（北京）有限公司，欣源科技（北京），尽量减少电子枪的长度
超短电子枪长氵度，.欣源科技（北京）___电子束直写
，无微放电
电子束直径＜1.6nm
最小线宽＜7nm
双热控制，实现超稳定直写能力
欣源科技SYNERCE独家代理日本CRESTEC公司的电子束光刻系统，又称作电子束曝光、电子束直写、EBL、E-BeamLithography等。
包括30kV、50kV、90kV、110kV、130kV
2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸
如有任何需求和相关问题，敬请电话或邮件垂询。

.欣源科技（北京）___电子束直写