无锡市喜伯年贸易有限公司

黄光室是进行IC晶片微影成像术的区域，将光阻材料利用旋镀法被覆在晶园上，而后再放置于曝光机下进行曝光，以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像，最后再以药剂进行显影而得到实际图像。 早期曝光机的光源为全光谱光源，后演进到G-LINE（436 mm）光源，目前最为广泛使用的为I-LINE（436mm）光源，对于0.3ūm线宽以下的IC制程，则需采用深紫外线（deep UV）248mm光源，甚至X光或电子束，目前光源较采用高压水银（汞）弧灯，由于其特性频谱，所以须经过滤光片以获得所需的I－LINE(365mm)光线。 为了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光机以外的光线照射而曝光，所以整个作业必须在黄光室下进行，换言之，所有照明用的光源须加以过滤，照明灯底罩及各式隔间门及窗皆应具有过滤波长380mm紫外光的能力。但必须注意的一点，有些黄色透明板虽然具有黄光，但对于紫外光却未完全隔绝，严格来说，这是不合格的产品。因为常被用于黄光室的5mm 黄色压克力板，在I－LINE（365mm）附近确有不少的穿透率。