上海万库真空设备有限公司

概述

宽量程真空计 (WRG) 系列在从大气压到 10^-9 mbar 的压力下提供单接口压力测量结果，并且提供线性输出。它是紧凑型的解决方案，所需空间和连接硬件均减少了一半，这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点，包括新的专利放电器、按钮校准、设定点控制和全面的诊断功能。WRG 是经济高效的真空管理解决方案，可以与 Edwards 控制器一起使用，也可以直接集成到系统控制中。

应用

·                任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。具有 AGD 的 WRG 代表一种用于实现此目标的非常简单和极为经济高效的手段。

·                对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言，线性输出和平衡使 WRG 成为一种富有吸引力的选择。

·                WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10^-4 和 5x10^-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用独立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。

功能和优势

·                微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换（记录压力刻度）

·                D 型包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44

·                低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用，例如质谱分析和电子显微镜

·                可轻松编程的设定点涵盖整个测量范围

·                磁控管使用先进的专利技术进行高度可靠的放电，即使在高真空或相对污染的环境下也无妨

·                自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置

·                单一按钮大气设置

·                通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流，延长了维修间隔和真空计寿命

·                结构极为紧凑，采用凹进式电气接头

·                易于维修；皮拉尼和磁控管元件均可以单独更换

·                综合性故障模式诊断装置

技术数据

压力范围

大气压至 10^-9 mbar/Torr

准确度 *

通常为 ±15% < 100 mbar 以及 ±30%< 10^-3 mbar

最大过压