上海万库真空设备有限公司

概述

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

·                半导体制程

·                真空蒸馏

·                真空包装

·                钢脱气

·                薄膜覆层

·                真空冶金

·                低密度风洞

·                空间模拟

·                真空浸渍

·                油干燥和脱气

·                制药冷冻干燥

·                CO₂ 激光

功能和优势

·                适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的应用场合。

·                它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

·                EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

o      安静的无振动运行。

o      牢靠且防腐蚀。

o      先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

·    &nb