概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
·                半导体制程
·                真空蒸馏
·                真空包装
·                钢脱气
·                薄膜覆层
·                真空冶金
·                低密度风洞
·                空间模拟
·                真空浸渍
·                油干燥和脱气
·                制药冷冻干燥
·                CO2 激光
功能和优势
·                适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
·                它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
·                EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
o      安静的无振动运行。
o      牢靠且防腐蚀。
o      先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
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