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五、PVD涂层与其他表面处理的比较1、CVD简介（ChemicalVaporDeposition——化学气相沉积）（1）将各种化学反应物质：如四氯化钛（TiCl4）和甲烷（CH4）等含碳气体（或其它碳氮气体）蒸气等通入反应炉体内，在高温（900~1200℃）状态下，TiCl4中的钛（Ti）和碳氢化合物中的碳（C）在模具表面进行化学反应，从而生成一层金属化合物涂层碳化钛（TiC）。利用不同的反应物，可得到不同的薄膜，如TiN、Ti（CN）、CrC等等。（2）CVD的优点：      ①镀膜与基材的附着性优良；      ②复杂的形状都可以处理：如深孔、内管、细缝等。（3）CVD的优点：      ①镀膜温度太高，对基材和反应设备的耐热性要求很高，很多工件难以承受；      ②高温使基材尺寸变化和变形严重，故适于精密度高的工件；      ③对于要求工件局部镀膜，难以实现；      ④活泼性气体源的使用，制程中有爆炸、毒性气体泄漏等隐患，且对环境有污染。2、TD简介（ThermalDiffusionCoatingProcess——热扩散法碳化物覆层处理）（1）在空气炉或盐槽中放入一个耐热的坩埚，将硼砂放入坩埚加热熔化至800~1200℃，然后加入相应的碳化物形成粉末（如钛、钡、铌、铬），再将钢或硬质合金工件放入坩埚中浸渍保温1~2小时，加入元素将扩散至工件表面并与钢中的碳发生反应形成碳化物层（如：VC—碳化钒；CrC—碳化铬），所得到的碳化物层具有很高的硬度和耐磨性。（2）TD最主要适合于以下铬钢的工件。国际标准中国
日本
美国
瑞典
—
Cr12MoV
SKD11、SLDD2
XW—41160CrMoV12Cr12Mo1V1
SKD11

D2

XW—42
100CrMoV5Cr5Mo1V
SKD12
A2
XW—10210Cr12Cr12
SKD1
D3
XW—5——DC53——（3）TD的优点：
      ①覆层与基材的附着性优良；      ②覆层的厚度较厚。（4）TD的缺点：      ①处理温度太高，对基材的耐热性要求很高，很多工件难以承受；      ②高温使基材尺寸变化和形变严重，故不适于精密度高的工件；      ③对于要求工件局部镀膜，难以实现；      ④覆层的厚度较厚，精密工件精度会受影响；      ⑤覆层后表面状况较差，一般须作后处理（如抛光等）才可使用。3、电镀硬铬（Cr）简介（1）用铬酐、硫酸和添加剂等配制成电镀液，将工件放入溶液中电镀金属铬沉积在工件表面形成镀层。（2）实际上所谓“镀硬铬”，其铬层硬度并不比装饰铬层硬度高，只因其镀层较厚，故能发挥其硬度高、耐磨的特点，故称镀硬铬。（3）镀硬铬的优点：①工件大小不受限制；②镀层厚度较厚，可以适当弥补因加工超差的工件尺寸；③成本较低。（4）镀硬铬的缺点：①硬度较差，耐磨性较差；②镀层厚度较厚，不能满足高精度要求，锋利的刀具镀后刃口会变钝；③环保问题严重。4、渗氮的简介（1）氮化：将待处理的工件放在渗氮炉中，炉内加温500~700℃，充入的含氮气体在高温状态下分解后产生活性氮原子，被刚才表面吸收渗入其中并且不断自表面向内扩散，形成氮化层，表面硬度可达900~1100HV。（2）氮化的优点：①工件大小不受限制；②氮元素与工件基材结果，故结果牢固；③成本较低。（3）氮化的缺点：①硬度较低，耐磨性较差；②应用面窄，只能针对钢材；③表面仍是钢材的特性，不能改善与金属粘黏等问题。


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