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 表面超硬化处理是指化学气相沉积(CVD)，物理气相沉积(PVD)，物理化学气相沉积(PVD)，TD覆层处理。这几种表面处理的共同特点是都可以在工件表面形成HV2000以上的硬化层，并具有极高的耐磨抗咬合等性能。实践证明，化学气相沉积(CVD)，TD覆层处理技术是目前解决工件拉伤问题效果的方法，而物理气相沉积(PVD)，物理化学气相沉积(PCVD)，虽然其表面硬度也可达到HV2000—3000，甚至更高，表面层硬化层也具有极高的耐磨，抗拉伤性能，但由于其膜基结合力较CVD和TD覆层处理差距较大，往往在使用过程中过早脱落，发挥不出表面超硬化层的性能特点，因此这两种方法除在载荷较小的情况下有可能具有效果外，一般的成型类模具很难有满意的效果。