台湾Kawake凯威科Screwvac系列无油螺旋式真空泵从一大气压到7.5×10-3torr都可以使用。如搭配鲁氏真空泵使用,更可增加排气速度及降低真空压力到7.5×10-4 torr。 因为Screwvac系列无油螺旋式真空泵采用单段压缩,压缩路径短,封粉或微粒负载高,封系统中的水汽容许量大。泵体内壁与转子皆镀有一屑铁弗龙,所以具备耐腐蚀的能力。因此,Screwvac系列无油螺旋式真空泵是一款适合较严苛应用,对制程及环境不会产品污染,也不会造成油品的消耗,坚固耐用,易于维护的新产品 实际应用产业有:半导体制程真空、液晶显示器制程真空、电子厂中央真空系统、医院中央真空系统、食品医药制程真空、灯具制程真空、冷冻空调制程真空、线路板压合制程真空、光学镜片、金属镀膜真空、VCD&DVD光盘表面真空溅镀、包装印刷真空吸著、玻璃、大理石、金属大型重物真空搬运等。