武汉德科玛仪器仪表科技有限公司

1、 结构原理单晶硅谐振传感器的核心部分，即在一单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术（罗斯蒙特导播雷达液位计MEMS），分别在其表面的中心和边缘作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁（H型状谐振器有两个振梁），且处于罗斯蒙特导播雷达液位计微型真空腔中，使其即不与充灌液接触，罗斯蒙特变送器又确保振动时不受空气阻尼的影响。 

  2、 谐振梁振动原理 硅谐振梁处于由永久磁铁提供的磁场中，与变压器、放大器等组成一正反馈回路，让谐振梁在回路中产生振荡。 

  3、 受力情况 当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变，中心处受至压缩力，边缘处受到张力，因而两个形状振梁分别感受罗斯蒙特差压变送器不同应罗斯蒙特导播雷达液位计变作用，其结果是中心谐振梁受压缩力而频减少，边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。