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[供应]真空钛金属镀膜
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- 更新日期：2019-06-27 16:13:27
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真空钛金属镀膜
详细信息
FOXIN-TG多弧离子镀膜机型号（直径2m以内）
性能型号
TG-1418
TG-1620
TG-1820
TG-2021
TG-2023
TG-2040
真空室尺寸:mm
Ф1400×H1800
Ф1600×H2000
Ф1800×H2000
Ф2000×H2100
Ф2000×H2300
Ф2000×H4000
真空室结构
立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统
维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
真空测量系统
一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS)
电源类型
直流电源、中频电源、脉冲电源（偏压电源、弧电源）
极限真空指标
空载冷态 1.0一6.0×10-4Pa
电弧源
16台-24台
16台-24台
18台-26台
18台-26台
22台-28台
22台-32台
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
200A-300A
偏压电源
40KW/1台
40KW/1台
40KW/1台
50KW/1台
50KW/1台
60KW/1台
磁控电源
1台-2台
1台-2台
2台-3台
2台-3台
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工件转动方式
多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
工件烘烤温度
常温-至450℃可控可调（PID温控）
工艺气体
3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
冷却方式
水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
控制方式
PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
供给指标
气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
报警及保护
对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
整机总功率
100~125KW
125~145KW
145~165KW
165~185KW
185~200KW
200KW以上
输出频率
电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）
设备占地面积
15~50m2
15~50m2
25~55m2
25~55m2
35~55m2
35~55m2
备注
可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。
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