音圈式精密主动隔振桌式平台主要部件包括:高强度铝合金台体、高强度铝合金蜂窝结构台面、精密音圈电机组、霍尔传感器高度控制模块、压电式加速度传感器、精密振动滤波器、高速控制系统等组成。本系统在工作状态中,金属压力弹簧受到压缩后,霍尔传感器采集的上台面高度变化数据,瞬间传送给微控制系统,从而使伺服电机驱动压力弹簧组件精确移动,始终保持台面与台体基面的距离相对固定,达到系统的自水平调节。当系统受到外界的振动干扰时,系统中配备八个加速度传感器,感知六个自由度的信号,经过滤波放大、A/D转换,反馈到DSP控制系统。在DSP控制系统精确运算后,通过驱动六个方位音圈电机组作用于工作台面,提供大小相等方向相反的力。从而进一步降低台面的振动响应,达到环境复杂振动的最小化。更多产品请登录:moer17