深圳宏发达自动化设备有限公司

主要规格及技术参数

2.1 镀膜室尺寸: (宽*深*高) 800MM*800MM*860MM

2.2 极限压力: ≤3*10-4pa

2.3 恢复真空抽气时间: ≤15min

2.4 镀膜室升压率: ≤0.8Pa/h

2.5 蒸发源:

磁偏转e型电子枪 QE6-20/4B (光偶定位)1套

功率: 6KW

2.6 射频轰击: 功率1000W

2.7 工件架: 公自转夹具

2.8 工件旋转: (5-25)r/min 转速连续可调

2.9 烘烤: 碘钨灯烘烤，烘烤温度≤300℃

2.10 真空系统:

a)K-600A 扩散泵(氟里昂冷阱，制冷单元用户自备)

b)ZJY-150A 罗茨泵

c)2X-70 真空泵

d)2X-15 真空泵

2.11膜厚控制:预留安装孔

2.12水路: 采用标准城市饮用水或质量相当的水，进水温度不高于25℃，水压不小于(2-2.5)* Pa

2.13 压缩空气: 清洁干燥气体，压力(5-7)* Pa

2.14 总工率: ~36KW 三相四线制380VAC 50HZ

3. 结构说明

3.1 本设备由下列部分组成

a)ZZSX-800E 主机 1台

b)真空操作柜 1套

c)DEF-6H 电子枪电源柜 1台

主机由机架，镀膜室，真空系统组成.

3.2 机架为长方体，架体由钢板和型材焊接组成.镀膜室装在机架上面，水冷单元和气动控制部分安装在机架后方.

3.3 镀膜室为立式前开门结构，全不锈钢材料制作，内表面抛光处理，外表面喷丸处理.镀膜室和门外壁焊有冷却水道.门上有两面个观察窗，下侧观察窗内装有活动挡板，硬质玻璃外面有一层铅玻璃以防X射线的辐射，里面为一层保护玻璃用弹簧卡圈固定，污染后可随时将其拆下清洗后再装上.外部装有暗色玻璃以保护眼睛.镀膜室底板上装有电子枪，气动挡板机构，碘钨灯烘烤装置以及备用孔.工作旋转驱动由顶部引入，镀膜室内壁有可拆卸的不锈钢屏蔽板，便于清理膜屑.真空测量的规头既可装在镀膜定顶部也可装在高阀上.

3.4真空系统由扩散泵，冷阱，高阀，前级阀，预抽阀，旁路阀，罗茨泵.前级泵，维持泵以及真空管道组成，手动操作.

3.5 电子枪以及相应的操作柜，请参照各自的使用说明书.

3.6电子柜是标准19英寸机架.它由真空控制，旋转控制及轰击控制等部分组成，各阀门控制是交流220V.真空操作为手动控制方式.

3.6.1 真空控制:采用按键开关和继电器作为控制元件.

3.6.2 旋转控制:采用变频调速器，实现工件架的无级调速，接通旋转电源，调节变频调速器，工件架平稳起动达到需要的转速停止.工作完毕关闭旋转电源.